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硅晶圓清洗水可采用超純水設備生產

2023-11-16

  硅晶圓是半導體制造過程中必不可少的材料之一。它是一種無機非金屬材料,主要由硅元素構成,具有良好的穩定性。在半導體制造中,硅晶圓通常用作集成電路、太陽能電池和其他電子設備的基板。硅晶圓的生產需要高精度的加工和嚴格的質量控制,以確保晶圓的純度和一致性。

  當硅晶圓被污染時,需要對硅晶圓進行清洗,以此保證它作為電子器械生產原料的純凈度。硅晶圓清洗并不是自來水沖洗就可以的,因為它是精密材料,必須要使用超純水清洗才可以保護它不受雜質污染。超純水設備是生產超純水的專用技術產品,可以穩定連續地生產大批量品質安全可靠的超純水。

  超純水設備采用了“雙級反滲透系統+EDI模塊”的技術工藝。反滲透膜可以有效去除水中含有的鈣、鎂、鉀等金屬離子和其他微量元素,還可以將細菌、微生物有效脫除。EDI系統有效保證了超純水品質,脫鹽處理過程中不會產生酸堿廢液,不會給后續工藝帶來處理負擔,省去了酸堿中和處理的步驟,簡化了生產工藝。

超純水設備
超純水設備

  萊特萊德上海水處理公司超純水設備內部還設置了獨有的靶向離子交換系統,可以將難處理的硼及其他離子定向去除。由于反滲透膜技術的存在,在超純水生產時可以實現系統的帶電荷運行,離子遷移速度會更快,脫鹽效果會更好。除此之外,超純水設備還實現了高度自動化運行,操作非常靈活,節約了人員力量的投資成本。

  超純水的水質純度高,主要用作工業生產原料水和精密器械清洗水。采用超純水清洗硅晶圓能有效保證硅晶圓的無菌性和純凈度。超純水設備可以穩定連續生產超純水,不需要更換樹脂,具有很高的應用價值。

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  編輯:新奇  技術:木子

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